Выбор напряжения смещения

Выбор напряжения смещения

Кроме того, используются комбинации перечисленных методов, в которых обычно сочетается сравнительно (Высокая Скорость формирования конденсата с низкой вероятностью включения реактивных газов в пленку. Отрицательное смещение на подложку может быть подано как в системах распыления на постоянном токе, так и в системах ВЧ распыления. Выбор Напряжения смещения оказывает существенное влияние на свойства пленки. При малой величине смещения не обеспечивается эффективное удаление загрязнений.

Если же смещение чрезмерно велико, то может иметь место как захват ионов активных и инертных газов приповерхностной решеткой (зависящей от вида и энергии ионов, от Материала пленки, ее температуры и других факторов), так и ряд побочных явлений (рекристаллизация пленки, появление дефектов и др.). Если же смещение чрезмерно велико, то может иметь место как захват ионов активных и инертных газов приповерхностной решеткой (зависящей от вида и энергии ионов, от Материала Пленки, ее температуры и других факторов), так и ряд побочных явлений (рекристаллизация пленки, появление дефектов и др.).

1 звезда2 звезды3 звезды4 звезды5 звезд (Еще не оценили)
Loading...

Добавить комментарий

Ваш e-mail не будет опубликован. Обязательные поля помечены *

Можно использовать следующие HTML-теги и атрибуты: <a href="" title=""> <abbr title=""> <acronym title=""> <b> <blockquote cite=""> <cite> <code> <del datetime=""> <em> <i> <q cite=""> <strike> <strong>

Подтвердите, что Вы не бот — выберите человечка с поднятой рукой: