Установки распыления ионной бомбардировкой

Установки распыления ионной бомбардировкой

В частности, в последние годы в установках распыления ионной бомбардировкой начинают применяться трубомолекулярные насосы (ТМН), характерной особенностью которых являются стабильная быстрота откачки в широком интервале Давлений, и отсутствие в этом интервале давлений резко выраженной селективности при откачке газовых смесей. Однако при Р10Па быстрота откачки ТМН снижается, а при Р> Па становится нестабильной и определяется главным образом быстротой откачки форвакуумного насоса. Кроме того, при Р>1 Па коэффициент сжатия по водороду резко снижается, в результате чего ТМН становится своеобразным газоразделительным устройством, эффективно откачивающим тяжелые газы и практически сохраняющим давление легких газов (в основном водорода, который интенсивно выделяется в разряде в Результате диссоциации паров воды) на определенном уровне. Резкое снижение и нестабильность быстроты откачки агрона при Р>1 Па, практическое отсутствие откачки водорода, а также высокая стоимость ТМН существенно ограничивают возможность его широкого применения для откачки Установок, использующих диодные системы распыления на постоянном токе, которые обычно работают при давлении Р=10 Па.

1 звезда2 звезды3 звезды4 звезды5 звезд (Еще не оценили)
Loading...

Добавить комментарий

Ваш e-mail не будет опубликован. Обязательные поля помечены *

Можно использовать следующие HTML-теги и атрибуты: <a href="" title=""> <abbr title=""> <acronym title=""> <b> <blockquote cite=""> <cite> <code> <del datetime=""> <em> <i> <q cite=""> <strike> <strong>

Подтвердите, что Вы не бот — выберите человечка с поднятой рукой: