Цифроаналоговой преобразователь
В этом случае дискретные сигналы от ЭВМ через цифроаналоговой преобразователь (ЦАП) управляют величиной тока и отклонением электронного луча в соответствии с получаемым на технологической площади рисунком микроэлектронной структуры. Таким образом, отпадает необходимость создания шаблона, а разрешающая способность ограничена только расширением электронного пучка при отклонении и точностью, с которой он может быть отклонен в нужную точку технологической площади. Уиравление от ЭВМ дает Возможность реализовать два варианта движения пучка: сканирование в растре, когда пучок проходит по всей площади сканирования и включается на нужных участках, и непосредственное передвижение пучка вдоль ряда точек по тем площадям, которые должны экспонироваться. Выбор одного из вариантов движения пучка для увеличения производительности последовательной электронолитографии определяется Конфигурацией микроэлектронной структуры, которую нужно получить. Теоретически электронный пучок может быть сфокусирован до очень малых размеров (5 • 10 мкм). Теоретически электронный пучок может быть сфокусирован до очень малых размеров (5 • 10 мкм).
(Еще не оценили)
Loading...
Loading ...
Добавить комментарий